本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　《春江月》演出现场。 记者 管炜 摄

　　9月29日晚，太湖县黄梅戏演艺有限公司（原太湖县黄梅戏剧团）在安庆石化俱乐部拉弦开唱，为来自全国各地的观众演出黄梅戏《春江月》。

　　《春江月》是一部传统经典古装剧，讲述绣花姑娘柳明月不顾个人安危，抚养忠良之后，不图回报，悄然离开的故事。据太湖县黄梅戏演艺有限公司总经理王清介绍，复排“原汁原味”的古装戏，是太湖县人民群众的心声。

　　“走进乡村，将黄梅戏演出带到田野当中去，是基层剧团必须扛在肩头的责任。”王清坦言，这不仅是“送戏进万村”的政策要求，更是基层剧团组建的初心使命。

　　《春江月》的不少唱段都在乡村舞台上反复打磨，“一部戏，首先要获得老百姓的认可。”王清说，在乡村舞台“摸爬滚打”，看得见基层群众的真实反应，戏曲演绎才能更精进。

　　多年来，《春江月》在大剧场也常演不衰，“有戏味。”今年96岁的老戏迷陈美荣给予演出高度评价，“所谓有戏味，便是没丢失黄梅戏的韵味。”陈美荣在安庆的剧场看过该剧目三次，她认为，有戏味的戏才能百听不厌。

　　“我对戏曲是挑剔的。”来自杭州的观众李安琪从小跟着爷爷听戏，“演出很精彩，故事清晰，也很吸睛。舞美样貌华丽、复杂，但没丢失戏曲的意境。”

　　“走进剧场，可以让基层剧团直面更多观众。”王清介绍，来到剧场的观众，结构更多元，这也让演出反馈更全面。大剧场具备更完整的宣传体系，部分演出也会同步网络直播，这让基层剧团获得更广、更长的曝光度和知名度。

　　“黄梅戏展演周就是一个非常好的平台，在线下，有来自全国各地，甚至来自国外的观众。在线上，有媒体矩阵进行宣传，演出也进行现场直播。”王清直言，这是基层剧团扩大影响力的好机会，而剧团影响力，直接关联剧团的文化传播和演出市场。

　　去年第十届中国（安庆）黄梅戏艺术节期间，该剧团展演原创黄梅戏《伊犁月》。该剧目不仅走进安庆的剧场，今年5月初，还走进安徽大剧院，收获广泛好评。9月初，剧团更去往新疆交流演出，巡演持续15天，连演4场。

　　“走进大剧场，不仅展示了剧团演出能力，也向外宣传黄梅戏文化，传播本地故事。”王清说。

　　2010年，太湖县黄梅戏剧团完成转企改制，更名为太湖县黄梅戏演艺有限公司，目前，公司每年演出300余场黄梅戏，其中走出安庆演出约50场。直面市场、融入市场、开拓市场，是转企后，公司不可回避的发展路。

　　“再难也要走出一条路来。”王清直言。

　　剧团在县域内没有自己的剧场，演出多以乡村舞台为主。市场化如何破局？剧团抓住太湖县推进文旅融合发展的机遇，走上了一条景区演出路。

　　目前，每逢节假日，剧团都会走进花亭湖和五千年文博园进行演出。景区演出和舞台演出，观众的需求天差地别，“将舞台上的东西直接搬下来，是行不通的。”王清说，为了达到更好的效果，获得市场认可，他们大量学习成功的景区表演经验，创排角色扮演式的景区互动演出。

　　猜拳、抽奖、合照、展示声腔……在假期的花亭湖和五千年文博园景区，戏曲演员扮演角色，在剧本大框架下一边演绎黄梅戏，一边同游客互动。

　　“我们主动去适应生态，不能等着市场把我们淘汰出局。”王清说。

　　除了进景区，该剧团还在尝试线上直播和开办戏曲培训班。目前戏曲培训班已有15位长期学员，“戏曲培训班并不以营收为目的，而是有更长远的目标。”王清介绍，通过戏曲培训班的开设，希望增强太湖县民间黄梅戏演出力量，“好苗子的培养、合作，也可以让剧团在大戏排演、多地同步演出上，更为游刃有余。”

　　“演出非常精彩，准备假期去太湖，到景区看他们演出。”散场时，观众王文华已经约定好友，来一场说走就走的旅行。

　　当晚的《春江月》落下最后一声鼓点，而基层剧团对市场路的探索，正在足下，步履未停。（记者 管炜 见习记者 柳加加）

热烈祝贺！2025 中国家居行业年度盛典落下帷幕，博蕊斯家居凭借硬核实力与行业影响力，一举斩获三项重磅荣誉 —— 创始人芳姐荣膺「年度品牌人物」，博蕊斯荣获「年度十大品牌」「年度影响力品牌」！

这是行业对其“功能沙发专家”定位的高度认可，更是对其匠心、信赖与引领力的双重加冕～

一、标杆领航・为匠心立序：创始人芳姐当选 “年度品牌人物”

从功能沙发的产品打磨到品牌生态的构建，博蕊斯家居创始人芳姐始终以「匠心立序」为内核：小到每一处沙发的人体工学弧度，大到品牌赛道的细分深耕，她都带着对“人居舒适”的执着死磕细节。

这份「2025 中国家居行业年度品牌人物」荣誉，是对她作为行业标杆领航者的最好致敬之一 —— 以个人匠心带动品牌匠心，让“功能沙发”的舒适价值被更多家庭看见。

二、值得信赖・为用户守心：摘得 “年度十大品牌”

能跻身「年度十大品牌」，靠的是博蕊斯“为用户守心”的长期主义：作为功能沙发专家，其产品从材质甄选到0靠墙功能设计，每一处都围绕“日常舒适 + 实用适配”打透用户痛点。

这份荣誉，是千万家庭用体验投出的“信任票”—— 毕竟“坐功能沙发，就选博蕊斯”的口碑，本就是最好的品牌名片。

三、引领变革・为行业定峰：登顶 “年度影响力品牌”

从功能沙发的技术迭代，到细分品类的标准共建，博蕊斯始终以「引领变革」的姿态破局：它让“功能沙发”不再是“小众选项”，而是成为家居舒适升级的主流选择，甚至带动行业对“舒适人居”的认知升级。

「年度影响力品牌」的加冕，是行业对博蕊斯“为行业定峰”的盖章认证 —— 它不止做产品，更做赛道的“品质推动者”。

功能沙发专家：荣誉背后的硬核底气

所有奖项的底色，都是博蕊斯对“功能沙发专家”定位的深耕：17年聚焦单一赛道，把“舒适”做透、把“功能”做精，才让每一份荣誉都来得扎实且有分量。

一次盛典，三奖加冕，既是2025年的圆满收尾，更是2026年的崭新起点。博蕊斯家居将带着这份沉甸甸的认可，继续以匠心打磨产品、以信赖服务用户、以引领推动行业，让更多家庭惬意躺进功能沙发的舒适怀抱～

玩家做出《黑暗之魂2》光追MOD 画面升级效果惊艳

作为FromSoftware“魂系列”三部曲中争议最大的一作，《黑暗之魂2》长期以来因画面降级、地图设计、适应性属性等问题备受玩家诟病。如今，一款名为“Lighting Engine”的Mod正在为这款游戏带来革命性的视觉升级——最新测试版加入了路径追踪技术，让这部2014年的老游戏焕发出令人惊叹的光影效果。

《黑暗之魂2》在发售之初就陷入多重争议漩涡。首先，适应性属性(ADP)直接影响角色的翻滚无敌帧，而游戏并未对此做出明确说明，导致未加点的玩家频繁遭遇“迷之受伤”。其次，地图设计相较初代《黑暗之魂》那种精妙互联的立体世界，显得更加线性，缺乏沉浸感。此外，Boss战也被认为是三部曲中最薄弱的环节——数量虽多，但大量重复使用、多人混战的设计让不少玩家感到失望。

更令玩家记忆犹新的是，游戏在发售前曾展示过令人印象深刻的动态光照系统，但最终版本中这一效果被完全移除。这一“画面降级”事件成为当年的一大争议焦点，也为后续Mod作者的“补完计划”埋下了伏笔。

在PC平台上，Mod作者们从未停止对《黑暗之魂2》画面表现力的挖掘。早期的“Flames of Old”Mod致力于还原预告片中被砍掉的光照效果，而新一代的“Lighting Engine”Mod则更进一步，加入了体积雾、地真环境光遮蔽等先进效果。

如今，该Mod的作者正在测试一个加入路径追踪技术的新版本。在RTX 4080显卡上，以4K分辨率、DLSS平衡模式、每像素3个采样(Path count 3)的设置下，游戏可以稳定运行在60帧。

从截图来看，路径追踪带来的光影质变令人震撼——无论是阴暗地牢中的烛光摇曳，还是户外场景中的阳光投射，都呈现出接近次世代游戏的写实质感。对于一款已发售十余年的老游戏而言，这样的视觉提升堪称脱胎换骨。

由大好评种田游戏《波西亚时光》开发商帕斯亚科技制作的新作《超级巴基球》今日放出了首个实机演示视频，可以看到游戏采取了3V3匹配方式，通常由一人把守球门，另外两人负责在前场进攻，场地中还会刷新各种各样的道具。

《超级巴基球》预计2019年末上线。

田径世锦赛爆发病毒感染 欧洲田联主席感染肠胃病毒

此次肠胃炎病例集中爆发最早出现在世锦赛一家官方指定酒店内。本月8日，官方发布的数字是发现约20名运动员和有关工作人员出现胃肠感染症状，其中两人确认感染诺如病毒。仅仅两天时间，这一数字增加到40人。

感染人群中除了工作人员、运动员外，还有不少田联的官员，比如欧洲田联主席汉森就是例子。原本按照计划，汉森将出席400米栏颁奖仪式，但因为身体出现疑似感染诺如病毒情况而无法成行。虽然汉森本人坚信自己不会感染诺如病毒，但是鉴于病毒的扩散性，不得不在酒店被隔离起来。

诺如病毒会导致呕吐腹泻，可通过接触感染，没有疫苗和特效药物，做好食品和饮水卫生工作是预防的关键。德国田径协会队医Andrew Lichtenthal声称，病毒爆发于世锦赛指定的官方酒店Tower Hotel，而且已经传播到本次世锦赛的其他官方住地。

博茨瓦纳选手马卡瓦拉就是被确诊的感染者之一，出现上吐下泻的症状。他没能参加7日的男子200米预赛，因为被隔离观察，一天后的400米决赛也无奈宣布放弃。在两天的隔离期结束后，马卡瓦拉被赛事主办方允许单独进行一次200米预赛。

独自奔跑的马卡瓦拉不仅成功晋级，还在两小时后的半决赛中再次晋级。10日的200米决赛中他最终名列第六。除此外，几十名加拿大运动员和工作人员感染生病，在同一家酒店的德国、爱尔兰运动员遭受到病毒的攻击，但是加拿大运动员的症状格外严重。